稀有气体纯化器（Entegris GateKeeper MC700-702FV)产品介绍

在半导体、**光学、真空镀膜、**分析检测等前沿产业中，高纯稀有气体是保障工艺稳定、产品良率的核心基础原料。氙气、氩气等稀有气体，常被用作工艺保护气、刻蚀气体、光源填充气。气体中微量的水、氧杂质，哪怕只有 ppb 级别，都可能造成晶圆氧化、薄膜缺陷、光学器件性能衰减，直接导致产品报废。这款 Entegris GateKeeper MC700-702FV 稀有气体纯化器，专门针对氙气、氩气等稀有气体深度除水除氧，可将气体提纯至 7N 乃至 9N 超高纯度，是**制程中终端点式纯化的关键设备。

该纯化器为美国应特格 Entegris GateKeeper 系列产品，型号 MC700-702FV，属于一体式气体纯化单元。设备本体为紧凑的金属筒式结构，自带 0.003 微米精密颗粒过滤组件，集杂质吸附与颗粒过滤于一体，无需额外配套过滤器。设备*大处理流量可达 120slpm，工作压力范围 0–17.3barg，适用温度区间 - 20℃~65℃，适配绝大多数高纯气体输送管路工况，安装灵活，可立式或卧式安装，无需外接加热电源，常温条件下即可完成纯化作业，使用便捷、运行稳定。

设备核心功能为深度脱除氙气、氩气内的水、氧杂质，同时可同步去除一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物等多种气态污染物。依靠专用吸气纯化介质，可将 H₂O、O₂等杂质降低至 ppt 级别，经纯化后的稀有气体稳定达到 7N（99.99999%），在严格控制进气条件下，可实现 9N（99.9999999%）的超高纯度输出，满足集成电路、先进封装、**光刻、激光、质谱分析等严苛场景的用气标准。传统瓶装高纯氙气、氩气，在钢瓶、管路输送过程中极易发生二次污染，在设备前端加装这款点式纯化器，能够在工艺使用前做*后一道把关，消除管路渗漏、钢瓶残余杂质带来的风险。

除氩气、氙气之外，该款 GateKeeper 纯化器兼容多种特种工艺气体，包含氦气、氪气、氨气、硅烷、六氟化硫等，气体兼容性广，可满足产线多品类高纯气体纯化需求。设备铭牌标注，对于清单以外的特种气体，可联系原厂评估适配性，给产线工艺升级预留充足拓展空间。纯化筒采用一体化密封设计，出厂预封装纯化介质，现场更换简单，降低管路污染风险；设备压降小，不会对原有供气系统造成过大压力负荷，方便集成到现有气体输送柜与机台点源管路。

在半导体制造领域，氩气广泛用于溅射沉积、等离子刻蚀；氙气用于光刻光源、离子注入、**等离子体工艺。这两类场景对水氧杂质极其敏感，微量水分与氧气会破坏薄膜界面，造成器件漏电、良率下降。这款稀有气体纯化器，放置在机台终端，作为 “气体守门员”，持续拦截气体中的痕量杂质，稳定保障工艺重复性。除半导体行业外，在真空镀膜、航天测试、**质谱、激光科研等领域，7N、9N 级高纯氙气、氩气同样不可或缺，纯化器能够为实验室与产线提供稳定可靠的超纯气源。

产品在设计上充分考虑超高纯气体使用的**规范，筒体采用高纯不锈钢材质，内壁经过特殊抛光处理，*大程度减少材料本身释放杂质。设备强调*小化大气暴露，在更换纯化筒的过程中，严格控制与空气接触，防止吸附介质提前失效，保障纯化性能。设备出厂经过严格的泄漏检测，避免运行过程中空气渗入，保证高纯气体品质不被破坏。

相较于大型集中式气体纯化系统，GateKeeper 筒式纯化器属于点式纯化方案，体积小巧，部署灵活，单台设备针对单路工艺气进行末端提纯，不同机台之间互不干扰，方便单独维护更换。对于产线改造、实验室升级场景，无需大规模改造供气主管路，只需要在用气点加装纯化器，即可快速提升气体纯度，投入成本更低，维护简单。

总而言之，Entegris GateKeeper MC700-702FV 稀有气体纯化器，是氙气、氩气深度除水除氧的高性能终端纯化设备，可稳定输出 7N~9N 超高纯稀有气体。它凭借常温运行、大流量、低压降、自带颗粒过滤、气体兼容性强的优势，解决了高纯稀有气体在运输、管路输送环节的二次污染难题，是半导体、先进光学、科研分析等**领域实现超纯工艺气体供给的核心装备，为精密制造与前沿科学实验筑牢气体纯度保障。

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