AIXTRON EPISON超声波气体浓度计：半导体 MOCVD 工艺高精度浓度监测标杆

在化合物半导体、功率器件、Micro LED 与先进外延制程高速发展的当下，MOCVD 设备对前驱体与工艺气体的浓度精度、稳定性、一致性提出严苛要求。德国 AIXTRON 爱思强推出的EPISON® 超声波气体浓度计，凭借原厂深度集成、超声波声速差原理、超高精度与免维护特性，成为全球 MOCVD 量产线气体浓度监测的主流选择，**匹配半导体 Fab 对高纯、稳定、可追溯过程控制的核心需求。

一、产品定位与核心价值

EPISON® 是 AIXTRON 专为CCS/G10 等 MOCVD 平台原生设计的在线式超声波气体浓度分析仪，聚焦二元混合气体高精度浓度测量与实时闭环控制，不侵入气路、不干扰工艺，直接服务于外延层厚度、组分均匀性与良率提升，是半导体外延制程从研发到规模化量产的标配浓度监测方案。

核心定位AIXTRON EPISON埃登威自动化系统设备(上海)有限公司是授权总代理负责国内半导体行业内的销售和售后服务维修校准工作.

原厂标配：与 AIXTRON MOCVD 硬件及 AIXACT® 控制系统深度融合
测量原理：超声波声速差法（ToF 飞行时间），专用于二元混合气体
应用场景：MOCVD 前驱体（MO 源、氢化物）、掺杂气、载气浓度实时监测
行业标准：SiC/GaN 功率器件、LED、射频器件、先进光电器件量产线广泛装机

二、技术原理：超声波声速差法（高精度基石）

EPISON 基于超声波在二元混合气体中的传播速度与组分浓度强相关的物理特性，通过高精度时差测量实现浓度计算：

传感器发射高频超声波，测量气体中的传播时间
结合温度、压力实时补偿，消除环境扰动
依据声速 — 浓度模型，反演目标气体体积浓度
输出稳定浓度值，支持 MOCVD 系统闭环控制

技术优势AIXTRON EPISON超声波气体浓度计：半导体 MOCVD 工艺高精度浓度监测标杆

无化学传感元件、无光源、无灯丝，零漂移、长寿命
响应速度快，支持毫秒级实时监测
不受粉尘、湿度干扰，适配半导体高纯工艺环境
仅适用于二元混合气，测量专一性强、精度极高

三、关键技术优势（半导体场景刚需）

1. 原厂深度集成，无扰动原位监测

与 AIXTRON MOCVD 气路、控制系统无缝对接，不改动气路、不影响流场、不引入污染，真正实现原位在线监测，保障工艺一致性与设备匹配性。

2. 超高精度与稳定性

浓度测量精度可达 **±0.0001%–±0.1% FS** 级别
长期稳定性优异，数月无需校准
重复性高，支撑机台间（Tool-to-Tool）精准匹配

3. 宽适配与强兼容性

覆盖 H₂、N₂、Ar 载气体系AIXTRON EPISON超声波气体浓度计：半导体 MOCVD 工艺高精度浓度监测标杆
适配TMAl、TEG、TMI、AsH₃、PH₃、SiH₄等常用前驱体
兼容高压 / 常压 / 低压多工况，满足外延、刻蚀、掺杂等多环节需求

4. 免维护、低运营成本

无耗材、无易损件、无需定期维护 / 校准
降低换瓶、停机、标定成本，提升 OEE 设备综合效率
支持多点扩展，单系统可监控多路气体

5. 半导体级合规设计

低泄漏气路、VCR 接口、316L 不锈钢材质
满足 SEMI 标准，适配 Fab 级**与洁净要求
支持 EtherCAT、Modbus、Profibus 等主流通讯，数据可追溯

四、典型应用场景

MOCVD 外延工艺

实时监测 MO 源与氢化物浓度，稳定前驱体输送，提升外延厚度 / 组分均匀性，提高良率与批次一致性。
气体混配与纯度监测 AIXTRON EPISON超声波气体浓度计：半导体 MOCVD 工艺高精度浓度监测标杆

载气 / 掺杂气配比在线监控，替代传统热导（TCD）方案，精度提升一个数量级。
前驱体利用率优化

精准监测浓度，减少浪费、延长源瓶寿命，降低单晶圆制造成本。
设备诊断与预防性维护

实时监控浓度异常，快速定位鼓泡器、MFC、管路故障，减少非计划停机。

五、与同类方案对比（超声波 vs 传统技术）

表格

指标	EPISON® 超声波	热导 TCD	红外 NDIR	化学传感器
精度	极高（±0.0001% ）	一般	中等	一般
稳定性	极高，长期零漂	易漂移	一般	易衰减
维护	免维护	需校准	需清洁	需更换
响应速度	快（实时）	较慢	中等	慢
半导体适用性	**	一般	有限	差
寿命	超长	中等	中等	短

六、总结

AIXTRON EPISON 超声波气体浓度计以原厂原生集成、超声波高精度、免维护稳定运行、半导体级合规四大核心优势，重新定义 MOCVD 工艺气体浓度监测标准。它不仅是一台测量仪器，更是提升外延良率、降低运营成本、实现规模化稳定量产的关键核心部件。

面向 SiC/GaN 第三代半导体、Micro LED、先进光电器件的持续扩产，EPISON® 凭借可靠性能与全球海量装机验证，持续成为半导体厂商浓度监测的**方案，助力制程控制迈向更高精度、更高效率、更低成本。

更多AIXTRON EPISON超声波气体浓度计：半导体 MOCVD 工艺高精度浓度监测标杆信息请直接致电埃登威上海公司18939876302

主营产品：