埃登威超生波高精度二元气体浓度分析仪应用于半导体测量

埃登威自动化系统设备（上海）有限公司，专注**气体分析领域多年，依托意大利 ADEV 核心传感与精密测控技术，为半导体、特种气体、化工与新能源行业提供ppt 级气体微污染控制与高精度组分分析解决方案。埃登威二元气体浓度分析仪，专为**分析二元混合气体配比设计，以非侵入式测量、超高精度与快速响应，成为高纯气体、特种工艺气在线配比监测的优选设备。

产品概述

埃登威二元气体浓度分析仪采用先进传感技术与精密电子控制分析电路，可**测量二元混合气体的浓度比例，设备经严格质量管控与多点样气标定，长期稳定性优异，适配气体混配、气体回收、变压吸附、载气掺杂及各类半导体工艺设备，满足严苛工况下连续可靠运行需求。

核心优势埃登威超生波高精度二元气体浓度分析仪应用于半导体测量

超高测量精度：检测精度可达0.1%–0.0001%，兼顾微量与常量组分分析，匹配高纯气体与特种气体工艺要求。
非侵入式测量：无接触、无损耗、不污染样气，对半导体等高洁净场景更友好，长期使用无漂移。
响应快速稳定：开机稳定时间≤30 分钟，2 小时后达*高精度，满足工艺快速投用与实时监控需求。
智能化触屏操作：配备独立 LCD 触屏显示端，界面直观易用，支持参数设置、历史数据查询、浓度实时趋势展示。
宽工况适配：流量 0–2000 sccm、工作压力 0.1–2 Bar（绝压），兼容多种二元气体体系。
高集成易部署：结构紧凑（124×72×175mm），标准 1/4 inch VCR 气路接口，支持机柜集成与现场安装。
丰富通讯接口：标配以太网、RS-485、RS-232 及 Devicenet 工业总线，轻松接入 DCS/PLC 系统。
超高气密性：氦检漏率≤1×10⁻⁹ std-cc/s，杜绝泄漏风险，保障危险 / 特种气体使用**。

技术规格埃登威超生波高精度二元气体浓度分析仪应用于半导体测量

表格

参数项	指标
测量对象	二元混合气体浓度比例
测量精度	0.1%–0.0001%
流量范围	0–2000 sccm
工作压力	0.1 Bar–2 Bar（绝压）
开机稳定	≤30 分钟，2 小时达*高精度
氦检漏率	≤1×10⁻⁹ std-cc/s
显示单元	独立 LCD 触屏
气路接口	1/4 inch VCR male
电气接口	Devicenet M12×1 航插公头
通讯接口	RJ45、RS-485、RS-232
供电	24V±1V，*大电流 2A
外形尺寸	124×72×175mm
安装	4×M4 安装孔

典型应用场景埃登威超生波高精度二元气体浓度分析仪应用于半导体测量

半导体工艺：载气掺杂、外延 / 扩散 / 刻蚀工艺气体配比监测
特种气体：二元标准气配制、充装浓度在线标定
化工装置：气体混配柜、变压吸附 PSA、气体回收系统组分分析
电子制造：高纯保护气、反应气配比控制与质量监控
实验室 / 研发：二元气体配比实验、高精度浓度校准

品牌与品质

埃登威以高精度、高可靠、高**为核心理念，埃登威分析仪的先进水平，在半导体、特种气体、化工过程等领域广泛应用，为用户提供稳定、精准、合规的二元气体浓度分析整体解决方案。

更多埃登威超生波高精度二元气体浓度分析仪应用于半导体测量信息请直接致电埃登威上海公司18939876302

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