INSTRUTECH 冷阴极电离真空传感器 CC605 系列

CC605 是 INSTRUTECH 推出的一款冷阴极电离真空传感器，采用倒置磁控电离测量原理，量程覆盖约 7.5×10⁻¹¹～3.75×10⁻³ Torr，需配合外部控制器（如 B-RAX 系列）使用。它是一款量程极宽、结构坚固、寿命长、抗污染能力强的冷阴极电离传感元件，是高真空与超高真空测量的核心组件。

在测量原理上，CC605 采用倒置磁控（Inverted Magnetron）冷阴极电离技术。与热阴极电离计依靠加热灯丝发射电子不同，冷阴极电离计利用高压电场与磁场协同作用，使气体分子电离形成自持放电，放电电流与压力相关，据此推算真空度。倒置磁控结构在同等量程下具备良好的测量稳定性，量程可覆盖至 10⁻¹¹ Torr 级的超高真空，测量下限极低。INSTRUTECH 冷阴极电离真空传感器 CC605 系列

由于没有热灯丝，CC605 从根本上避免了灯丝烧断、蒸镀污染等常见故障，因此具备极长的使用寿命与极高的可靠性。它特别适合需要长时间连续运行、维护周期长、对污染敏感的高洁净真空应用，能够有效减少维护频次、降低使用成本。

在结构设计上，CC605 采用金属结构设计，主体为多层圆柱状不锈钢结构，具备良好的强度与真空兼容性；顶部配置金属接口，中部环绕警示标识与型号信息，底部为标准法兰接口，适配多种真空系统连接。传感器结构坚固，适合工业现场的长期连续工作。

在使用上，CC605 需配合外部 InstruTech 控制器（如 B-RAX 系列）使用，由控制器提供高压供电、信号处理与显示功能。与控制器配合后，可实现压力显示、设定报警与联锁控制等完整功能，并可与皮拉尼传感器共同构建宽量程复合测量系统。

在应用方面，CC605 广泛应用于半导体工艺、真空镀膜、真空炉、加速器、科研实验装置等需要高真空与超高真空测量的场合。综合来看，CC605 以其倒置磁控冷阴极的超宽量程、长寿命、高可靠、抗污染等优势，成为超高真空与高真空领域可靠耐用的冷阴极电离传感选择，是构建高性能宽量程真空测量系统的理想组件。INSTRUTECH 冷阴极电离真空传感器 CC605 系列

在实际应用中，CC605 需与 INSTRUTECH 控制器配合构成完整的高真空测量系统，特别适合对污染敏感、需要长时间稳定运行的高洁净真空应用，例如半导体工艺、真空镀膜、加速器及科研装置。其超宽量程与无灯丝长寿命设计，使其成为追求超高真空长期稳定测量的理想选择。用户可根据真空系统接口选配法兰规格。综合而言，CC605 以其倒置磁控冷阴极的超宽量程、长寿命、高可靠与抗污染优势，成为超高真空与高真空领域可靠耐用的冷阴极电离传感选择。INSTRUTECH 冷阴极电离真空传感器 CC605 系列

同时，CC605 也适合作为宽量程复合真空测量系统中的超高真空测量单元，与皮拉尼传感器配合，构建覆盖大气压至超高真空的完整测量体系。其无灯丝结构与耐污染特性，尤其适合在清洁度要求高、维护窗口有限的先进工艺中长期使用。对于追求测量下限、长期稳定与低维护的工程应用，CC605 提供了理想的冷阴极传感方案，是构建高性能宽量程真空测量系统的可靠之选。

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