INSTRUTECH 热阴极电离真空传感器 IGM400 系列

IGM400 是 INSTRUTECH 推出的一款热阴极电离真空传感器，产品代号 HORNET（大黄蜂），采用热阴极（Bayard-Alpert）电离测量原理，需配合外部控制器（如 B-RAX 系列或 FlexRax 4000）使用，是高真空与超高真空测量领域一款结构紧凑、灵敏度高、可靠性好的核心传感组件。

在测量原理上，IGM400 采用经典的热阴极电离原理，通过加热灯丝发射电子，电子在电场作用下加速并与气体分子碰撞使其电离，产生的离子流强度与气体压力成正比，从而**推算真空度。其量程覆盖约 1×10⁻⁹～5×10⁻² Torr，能够**测量高真空段的压力变化，满足半导体工艺、真空镀膜及科研对高真空**测量的要求。INSTRUTECH 热阴极电离真空传感器 IGM400 系列

在结构设计上，IGM400 采用黄黑双色、结构坚固的紧凑金属外壳，体积小、重量轻，便于安装；底部配置标准金属法兰接口，如 DN16KF、DN40CF 等，适配不同的真空系统连接需求。传感器可配用不同灯丝材质（如钨丝）以满足不同工况需求，结构设计注重长期运行的可靠性与耐用性。

在灯丝设计上，IGM400 作为热阴极电离传感器，采用模块化灯丝结构，灯丝可更换，用户可在灯丝老化或烧断后进行针对性更换，无需整体更换传感器，降低了维护成本与停机时间。其稳定的灯丝供电与发射电流控制，保证了测量的稳定性与重复性。

在使用上，IGM400 需配合外部 InstruTech 控制器（如 B-RAX 系列）使用，由控制器提供供电、信号处理与显示功能。与控制器配合后，可实现压力显示、设定报警与联锁控制等完整功能，并可与其他皮拉尼传感器共同构建宽量程复合测量系统。

在应用方面，IGM400 广泛应用于半导体工艺腔体、真空镀膜、表面分析、分子束外延、加速器及各类科研真空装置，是高真空与超高真空**测量的核心元件。综合来看，IGM400 以其热阴极电离高灵敏度、紧凑坚固结构、灯丝可更换低维护等优势，成为科研与**工业高真空测量的可靠传感选择，是构建高性能高真空测量系统的理想组件。INSTRUTECH 热阴极电离真空传感器 IGM400 系列

在实际应用中，IGM400 需与 INSTRUTECH 控制器配合构成完整的高真空测量系统，适合半导体工艺、真空镀膜、表面分析及科研装置。用户可根据目标真空度选择适配的控制器与灯丝材质（如钨丝），并结合真空系统接口选配法兰规格。其灯丝可更换的模块化设计，降低了长期维护成本。综合而言，IGM400 以其热阴极电离高灵敏度、紧凑坚固结构与低维护优势，成为构建高性能高真空测量系统的可靠传感组件，是科研与**工业高真空测量的理想选择。INSTRUTECH 热阴极电离真空传感器 IGM400 系列

同时，IGM400 也适合作为宽量程复合测量系统中的高真空测量组件，与皮拉尼等中真空传感器配合，构建覆盖大气压至超高真空的完整测量体系。其与多路控制器良好的协同能力，使用户可在一套系统中统一管理多个测量点，简化了集成与运维。对于科研与**工业中追求测量精度、系统集成与维护便利的应用，IGM400 提供了可靠的传感支撑，是构建高性能高真空测量架构的理想基础组件。

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