ADEV 激光微量水分析仪在乙硼烷气体监测中的应用

——LDMOX 半导体级高精度微水监测解决方案

在半导体外延、离子注入、CVD 等核心制程中，电子级乙硼烷（B₂H₆）作为关键掺杂气源，其微量水分含量直接决定晶圆良率与器件可靠性。乙硼烷遇水极易分解、剧毒易爆，且会对传统传感器造成严重毒化、漂移、假报警等行业痛点。埃登威 ADEV ULT-08 激光微量水分析仪，基于TDLAS 可调谐半导体激光吸收光谱技术，专为半导体高纯特气严苛工况设计，实现乙硼烷介质中微量水分真实、稳定、无干扰在线监测，成为半导体特气微水质控的标杆方案。

一、核心技术原理：TDLAS 激光光谱精准测水

ADEV ULT-08 采用可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）技术，通过发射水分子特征吸收波长的激光束，利用朗伯 - 比尔定律，对气体中水分子进行非接触、专一性、实时定量检测。激光只对水分子产生特征吸收，不受乙硼烷、氢气、氮气及其他背景组分干扰，从原理上杜绝反应干扰与数据失真，输出真实可靠的微水浓度值，完全契合半导体高纯气体质控需求。ADEV 激光微量水分析仪在乙硼烷气体监测中的应用

二、半导体级精准测量性能

测量量程：0～10/100/1000ppb，可按工艺定制
分辨率：0.01ppb
检出限：0.1ppb
测量精度：±1%FS

可精准捕捉ppb 级微量水分，满足电子级乙硼烷、磷烷、砷烷及惰性高纯气体的**质控标准，支撑先进制程稳定运行。

三、专为乙硼烷工况打造的核心优势

1. 强抗毒化，长期零漂移

采用全不锈钢防腐气路 + 专用防硼化物涂层光学腔体，抵御乙硼烷水解产物污染，长期通气不糊膜、不中毒、不漂移，传感器寿命长达3–5 年，彻底告别传统电解 / 电容 / 石英晶体传感器频繁失效、频繁标定的痛点。ADEV 激光微量水分析仪在乙硼烷气体监测中的应用

2. 快速响应，实时预警

T90 响应＜5 分钟，实时捕捉水分异常波动；支持在线连续监测 + 多点位巡检，内置自动零点校准与基线跟踪算法，大幅降低人工维护，保障产线 24h 稳定运行。

3. 非接触测量，真实无干扰

TDLAS 激光法不与样品发生化学反应，不消耗被测气体、不改变组分、不产生副产物，从原理上避免乙硼烷与传感器发生反应导致的数据失真，实现真实值、有效值、可追溯测量。

4. **合规，半导体级标准

一体化316L EP 级不锈钢气路，低泄漏、耐腐蚀、无析出
支持微水 + 微氧双参数同步监测
符合SEMI及半导体高纯特气行业标准
适配防爆 / 防腐 / 高洁净度现场要求

四、解决乙硼烷微水监测三大核心痛点

真实测量，不被反应干扰

区别于传统传感器易被乙硼烷毒害、数据漂移，ADEV 激光法只测水、不**扰，输出稳定可靠数据。
杜绝误报，减少无效停机

彻底解决硼化物沉积导致的基线漂移、假高报、假低报，避免不必要的停机、复检与生产误判，提升 OEE 设备综合效率。
长期稳定，降本增效

免频繁清洗、免频繁标定、传感器寿命更长，显著降低运维成本与停产损失，保障制程连续稳定。

五、全场景适配范围

半导体外延、离子注入、CVD 制程乙硼烷掺杂气在线监测
电子级乙硼烷钢瓶 / 槽车 / 管道进厂 / 出厂质检ADEV 激光微量水分析仪在乙硼烷气体监测中的应用
乙硼烷储存、输送、排气系统微量水与泄漏监控
同时适配：PH₃、AsH₃、SiH₄、NH₃及各类惰性高纯气体、部分卤化物电子特气

六、方案总结

针对乙硼烷遇水易分解、剧毒易爆、传感器易毒化的行业监测痛点，埃登威 ADEV LDMOX 激光微量水分析仪凭借：

TDLAS 激光高精度测量
抗硼化物毒化、长期零漂移
非接触无反应、数据真实可靠
半导体级合规与**设计

成为乙硼烷微量水分在线监测的行业金标准，为半导体先进制程提供精准、稳定、安全、合规的**分析仪器与定制化解决方案，助力高纯特气制程提质、降本、保安全。

更多ADEV 激光微量水分析仪在乙硼烷气体监测中的应用信息请直接致电埃登威上海公司15801912977

主营产品：