横河电机的新一代‌OX400低浓度氧化锆氧分析仪

横河电机的新一代‌OX400低浓度氧化锆氧分析仪‌，该产品采用突破性薄膜沉积**技术，通过分子级连接强化氧化锆元件与铂层结合力，显著提升传感器稳定性与使用寿命。据悉，该设备已应用于半导体扩散炉、LCD制造工艺的氧浓度控制，同时覆盖电子制造业回流炉、手套箱等场景的惰性气体监测需求。

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技术突破‌

• ‌三倍寿命提升‌：新型传感器结构有效防止涂层剥离，寿命周期达传统型号三倍
• ‌毫秒级响应‌：圆柱形传感器设计实现被测气体快速置换，适用于动态工艺环境
• ‌精准监测‌：在0-1000ppm低氧浓度范围内保持±0.5%FS精度，线性误差≤±1%

‌行业应用‌

1. ‌半导体制造‌：晶圆高温工艺环境氧浓度闭环控制
2. ‌电子封装‌：锡焊炉/回流炉气氛保护系统实时监测
3. ‌防爆**‌：粉体输送管道氧浓度超标预警
4. ‌新材料研发‌：惰性气体箱体纯度维护

‌智能化特性‌
设备集成多路选择器与自适应量程切换功能，配备加热器异常、热电偶断线等11项自诊断模块。模块化设计支持现场快速更换传感器，紧凑型机身适应狭小空间安装需求。目前该产品已通过CE/UL双重认证，在全球12个核心工业区完成现场验证。

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