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美国Veeco Piezocon压电浓度气体传感器半导体行业应用

美国Veeco Piezocon压电浓度气体传感器半导体行业应用

压电浓度气体传感器

品牌：Veeco
型号：PZN‑S‑015‑4 PIEZOCON


核心概述

  • 可实时监测与控制前驱体质量传输的气体浓度传感器
  • 面向大批量生产（HVM）优化，几乎无需人工干预、无需定期维护与校准
  • 行业标准：可重复的蒸汽输送控制
  • 通过严格控制工艺气体与前驱体化学蒸汽输送，提升工艺重复性与良率
  • 更高效利用前驱体化学品，延长源瓶使用寿命、减少浪费，降低运营成本
  • 提供量化数据，简化机台对标（Tool‑to‑Tool Matching）
  • **诊断能力，提高设备生产效率 美国Veeco Piezocon压电浓度气体传感器半导体行业应用
  • 覆盖宽广的工作压力、温度与流量范围
  • 拥有 IECEx、KCs、CE 认证

标准型 Piezocon 气体浓度传感器

  • 采用 Veeco 行业头狼、量产验证的压电传感技术
  • 适用于工作温度＜100℃、工作压力＞250 Torr 的大批量制造场景
  • 理想用于大批量外延（EPI）与 MOCVD 工艺
  • 支持监测模式 / 控制模式双模式运行，实时反馈并控制气体 / 蒸汽浓度与通量输送

选型指南

PZN‑00——
  • 传感器材质：316L 不锈钢
  • 流量（LPM）：003=0–3；015=1–15；050=10–50；100=20–100
  • 传感器类型：S = 标准型
  • 表面处理：S = 标准美国Veeco Piezocon压电浓度气体传感器半导体行业应用
  • VCR 接口：04=1/4"；08=1/2"
  • *高温度：00=60℃；HT=100℃

标准传感器参数

表格
参数 规格
浓度测量范围（仅二元混合气） 0–100%
*大工作压力 8,000 Torr
*小工作压力 250 Torr
流量范围 0–3 LPM；1–15 LPM；10–50 LPM；20–100 LPM
传感器温度范围 0–60℃；60–100℃
控制器温度范围 0–40℃
压力接口 外螺纹 VCR：1/4"、1/2"
大气泄漏率 ＜1×10⁻⁹ atm·cc/s He
VCR 面对面尺寸 124 mm（4.88"）
传感器重量 1.3 kg（2.866 lbs）
控制器重量 单通道：1.0 kg（2.204 lbs）；四通道：2.8 kg（6.172 lbs）
传感器接液材质 316L 不锈钢、Kapton、Inconel
控制器软件界面 监测状态、错误代码、浓度、MFC 流量、温度
通讯接口 无；DeviceNet；Profibus；RS‑232；Modbus/TCP；Modbus/RTU；FabComms；EtherCAT
供电 100–240 VAC，50/60 Hz，30 VA（内置）；24 VDC 外部供电

标准传感器典型测量精度

表格
前驱体化学品 典型工艺 浓度 % Qp/Qtotal* 准确度 % Qp/Qtotal* 重复性 % Qp/Qtotal* 机台对标精度 %
乙硼烷（B₂H₆） 外延 1 0.0285 0.0038 0.0228
锗烷（GeH₄） 外延 1 0.0111 0.0015 0.0090
磷烷（PH₃） 外延 1 0.0239 0.0032 0.0192
三氯氢硅（TCS） 外延 1 0.0066 0.0009 0.0054
*Qp = 前驱体体积流量；Qtotal = 总流量；测试条件：1000 Torr，H₂载气，25℃（特殊标注除外）

低压型（LP）Piezocon 气体浓度传感器

  • 采用 Veeco 行业**、量产验证的压电传感技术美国Veeco Piezocon压电浓度气体传感器半导体行业应用
  • 适用于工作温度＜100℃、工作压力 50–250 Torr 的大批量制造场景
  • 理想用于 CVD、ALD 等低压 / 高温工艺
  • 支持监测模式 / 控制模式双模式运行，实时反馈并控制气体 / 蒸汽浓度与通量输送

选型指南

  • 传感器材质：316L 不锈钢
  • 传感器类型：L = 低压型
  • 表面处理：S = 标准
  • 流量（LPM）：001=0–0.5；002=0.5–2
  • VCR 接口：08=1/2"
  • 保留位：填 “0”

低压传感器参数

表格
参数 规格
浓度测量范围（仅二元混合气） 0–100%
*大工作压力 250 Torr
*小工作压力 50 Torr
流量范围 0–1 LPM；0.5–3 LPM
传感器温度范围 0–60℃；60–100℃
控制器温度范围 0–40℃
压力接口 外螺纹 VCR：1/2"
大气泄漏率 ＜1×10⁻⁹ atm·cc/s He
VCR 面对面尺寸 124 mm（4.88"）
传感器重量 1.3 kg（2.866 lbs）
控制器重量 单通道：1.0 kg（2.204 lbs）；四通道：2.8 kg（6.172 lbs）
传感器接液材质 316L 不锈钢、Kapton、Viton
控制器软件界面 监测状态、错误代码、浓度、MFC 流量、温度
通讯接口 无；DeviceNet；Profibus；RS‑232；Modbus/TCP；Modbus/RTU；FabComms；EtherCAT
供电 100–240 VAC，50/60 Hz，30 VA（内置）；24 VDC 外部供电

低压传感器典型测量精度

表格
前驱体化学品 典型工艺 浓度 % Qp/Qtotal* 准确度 % Qp/Qtotal* 重复性 % Qp/Qtotal* 机台对标精度 %
PDMAT ALD 0.8 0.0106 0.0014 0.0840
六羰基钨（W (CO)₆） ALD 5.02 0.0194 0.0026 0.0156
四氯化钛（TiCl₄） ALD 9.6 0.0352 0.0046 0.0276
亚磷酸**酯（TMPi） ALD 20.7 0.0602 0.0080 0.0048
*Qp = 前驱体体积流量；Qtotal = 总流量；载气：Ar

产品综述

Piezocon® 气体浓度传感器已成为半导体设备行业的标准方案，用于 CVD、ALD、MOCVD 设备中化学前驱体蒸汽与掺杂气体的高精度监测与可重复输送控制。
全球装机量超 7000 台，广泛应用于硅基、LED、化合物半导体晶圆与器件制造。凭借****的高精度、高重复性气体 / 蒸汽输送监测能力，实现**的工艺控制，兼容多种气 / 气、蒸汽 / 气混合体系，适配多样应用场景。美国Veeco Piezocon压电浓度气体传感器半导体行业应用

核心价值

  1. 提升工艺重复性
    仅在 A 腔安装 Piezocon 即可实现稳定生长速率控制；B/C 腔无传感器需人工反复调整。
  2. 降低运营成本
    延长前驱体钢瓶、鼓泡瓶、升华源使用寿命，减少换瓶次数，提升 ROI，无需新增设备即可提升产能。
  3. 简化机台对标
    直接提供前驱体 / 载气浓度比、前驱体输送速率（g/min 或 mol/min）等量化数据，大幅简化机台匹配。
  4. **诊断能力
    自动记录浓度、输送速率、MFC 设定值等日志，用于输送系统优化与故障定位（如鼓泡器温压异常、MFC 故障、压力控制器问题等）。

配件

  • Piezocon 加热套 & 加热控制器
  • 单传感器控制器
  • 多传感器控制器

更多美国Veeco Piezocon压电浓度气体传感器半导体行业应用信息请直接致电埃登威上海公司18939876302

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