INSTRUTECH 多路真空控制器 FlexRax 4000 系列

FlexRax 4000 是 INSTRUTECH 推出的一款功能强大的多路真空测量与控制器，是 INSTRUTECH **真空控制产品线的旗舰型号。它能够同时监控多达 4 路电离真空传感器、4 路皮拉尼真空传感器，并外接 2 路真空计，是一款面向复杂、大规模真空系统的一体化集中测量控制**。

在通道配置上，FlexRax 4000 具备强大的扩展能力：它可同时接入 4 路电离真空传感器（如热阴极 IGM 系列或冷阴极 CCM/CC 系列）和 4 路皮拉尼真空传感器（如 CVG101），还可外接 2 路其他真空计。这样的配置使系统能够覆盖从超高真空（10⁻¹¹ Torr 级）到大气压（1000 Torr）的完整压力范围，并支持多测点同时监控，满足半导体镀膜、科研真空系统、加速器等复杂工艺对多路真空测量的集中管理需求。

在测量性能上，FlexRax 4000 的量程覆盖约 2×10⁻¹¹～1000 Torr，配合多路传感器组合，实现了宽量程的完整覆盖。它支持各类传感器与通道的灵活配置与组合，用户可根据工艺需要接入不同类型的传感器，实现定制化的测量方案。其多路模拟量输出、设定点继电器与丰富的通讯接口，为复杂的联锁控制与过程自动化提供了强大支撑。INSTRUTECH 多路真空控制器 FlexRax 4000 系列

在显示与操作上，FlexRax 4000 配备清晰的显示界面，可同时呈现多路通道的压力数据与工作状态；供电采用 100-240V AC 宽范围电源，适应不同地区电网环境。其机架式安装设计便于集成到标准控制柜中，适用于大规模真空系统。

在通讯能力上，FlexRax 4000 提供 RS485 与 RS232 双数字通讯接口，支持与上位机、DCS 或 PLC 系统实现深度集成，可实现远程读取、参数下发、过程监控与数据记录，满足现代化、自动化真空工艺的集中管理需求。INSTRUTECH 多路真空控制器 FlexRax 4000 系列

在应用方面，FlexRax 4000 广泛应用于需要多路真空测量与集中控制的大型真空系统，如多腔体镀膜设备、半导体制造设备、大型科研真空装置及加速器等。综合来看，FlexRax 4000 以其多路传感器兼容、超宽量程覆盖、丰富通讯控制接口与机架化设计，成为面向大规模复杂真空系统的**多路集中控制解决方案，是构建高性能、自动化真空控制系统的理想核心设备。INSTRUTECH 多路真空控制器 FlexRax 4000 系列

在实际应用中，FlexRax 4000 尤其适合半导体多腔体镀膜设备、大型科研真空装置等需要同时监控众多真空测点的复杂系统。其强大的多路接入能力与灵活的传感器组合，使用户能够在一台控制器上统一管理全部测点，简化了系统布线与集成。用户在选择时应根据实际测点数量与传感器类型，向原厂确认通道配置。INSTRUTECH 完善的售后与技术支持，为大型系统的长期稳定运行提供了保障。综合而言，FlexRax 4000 以其多路集中控制、超宽量程与丰富通讯接口，成为大规模复杂真空系统构建一体化控制**的旗舰之选。

更多INSTRUTECH 多路真空控制器 FlexRax 4000 系列信息请直接致电埃登威上海公司15801912977